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BTD超純水設(shè)備介紹及應(yīng)用

一、超純水的概念及應(yīng)用

超純水又稱UP水,既將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除,又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水。電阻率大于18MΩ·cm,或接近18.3MΩ·cm極限值。

超純水主要應(yīng)用于微電子行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、電力行業(yè)、光電行業(yè)、光伏行業(yè)和實驗室以及其他超純水應(yīng)用領(lǐng)域。

 

圖一 博泰達(dá)純水設(shè)備

二、純化水和超純水的區(qū)別

(1)電導(dǎo)率不同,純化水電導(dǎo)率在1-5μS/cm 之間,超純水的電導(dǎo)率為0.056μS/cm; 

(2)制造的難易程度不同,目前市場上使用的純水基本上都是經(jīng)過反滲透、蒸餾等方法制得,而超純水是純水的基礎(chǔ)上還要經(jīng)過光氧化技術(shù)、精處置和拋光處理等一系列復(fù)雜的純化技術(shù)制得的; 

(3)對微量元素的要求不同。比如重金屬、細(xì)菌、微粒數(shù)等指標(biāo)也大不相同,純水雜質(zhì)含量是ppm 級,而超純水為ppb 級1ppb為1ppm的千分之一,簡單來講超純水中已經(jīng)沒有什么雜質(zhì),接近于理論上的水; 

(4)使用的領(lǐng)域也不相同,純水一般稱呼純凈水,基本不保留水中的礦物質(zhì),pH值在6-7之間,為弱酸性,一般用于透析等醫(yī)療用水,或者實驗室、電子化工等特殊用水; 

(5)對輸送管道材質(zhì)的要求也不相同,超純水對輸送管道材質(zhì)的要求要比純水嚴(yán)格得多。

三、超純水的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)

(1)《國家標(biāo)準(zhǔn):電子級水(GB/T 11446.1-2013)》,

將電子級用水劃分為4級EW1-4,對用水的電導(dǎo)、全硅、微顆粒數(shù)、細(xì)菌個數(shù)、金屬元素、理化指標(biāo)及TOC都有明確要求。例如EW1電阻率≥18MΩ·cm(25℃)的情況下,全硅≤2μg/L等等。

(2) 美國電子和半導(dǎo)體工業(yè)用超純水的標(biāo)準(zhǔn)指南(ASTM-D5127)

美國電子和半導(dǎo)體工業(yè)用超純水的標(biāo)準(zhǔn)指南(ASTM-D5127),將電子和半導(dǎo)體工業(yè)用超純水劃分為7級,相較于國標(biāo)電子級用水,美標(biāo)對水質(zhì)的劃分更加細(xì)更加嚴(yán)格。 標(biāo)準(zhǔn)指南中增加了對半導(dǎo)體有影響的金屬元素、及溶解氧的檢測。

四、常用的水處理工藝

如圖一所示,針對不同的水質(zhì)要求,可采用不同的處理技術(shù),凝聚沉淀、砂過濾、活性炭吸附、以及筒式過濾這四種工藝技術(shù)可以去除水中的懸浮物和微粒;反滲透技術(shù)可以有效去除有機(jī)物、離子、微粒微生物、熱源;離子交換技術(shù)可以除去水中的離子;紫外線殺菌可以去除微生物和有機(jī)物;膜濾和超濾可以除卻原水中的微生物和熱源;多效蒸餾可以去除水中的有機(jī)物和熱源。通過一系列的技術(shù)可以使得原水變成超純水,用于工業(yè)車間生產(chǎn)用水。

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圖二 工藝用水處理技術(shù)

超純水主流工藝為三種,分別為:

(1)多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→單級RO→再生混床→拋光混床

(2)多介質(zhì)過濾器→軟化器→活性炭過濾器→單級RO→EDI→拋光混床

(3)疊片式過濾器→超濾→雙級RO→EDI→拋光混床→終端超濾

相對來說另外兩種工藝來講,第一種工藝是比較老舊的超純水制作手法,而最后一種滲透/電去離子(RO/EDI)集成膜技術(shù)是近年來發(fā)展迅速、相對成熟并得到大規(guī)模工業(yè)應(yīng)用的新一代超純水制造技術(shù),在國際上已逐漸成為純水技術(shù)的主流。RO/EDI的集成膜技術(shù)在電子企業(yè)用水、實驗室純水系統(tǒng)、電廠用水等方面具有獨(dú)特的優(yōu)勢。

五、應(yīng)用案例

案例一:某企業(yè)定制超純水設(shè)備,應(yīng)用于電子行業(yè)

 

圖三 博泰達(dá)純水設(shè)備

(1)工藝類型和水質(zhì)要求

采用預(yù)處理+雙級RO+EDI工藝,產(chǎn)水水質(zhì)符合電子級水標(biāo)準(zhǔn)。

(2)技術(shù)指標(biāo)

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圖四 技術(shù)指標(biāo)

(3)BTD設(shè)備特點(diǎn)

一鍵式啟動、操作、維護(hù)簡單方便,設(shè)有就地控制柜,方便就地操作及維護(hù);系統(tǒng)主機(jī)一體化設(shè)計,模塊化安裝,減少占地面積。

案例二:某企業(yè)定制超純水設(shè)備,應(yīng)用于環(huán)保新能源行業(yè)

 

圖五 BTD超純水設(shè)備

(1)工藝類型和水質(zhì)要求

采用預(yù)處理+雙級RO工藝,產(chǎn)水水質(zhì)符合電子級水標(biāo)準(zhǔn)。

(2)技術(shù)指標(biāo)

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圖六 技術(shù)指標(biāo)

(3)設(shè)備特點(diǎn)

系統(tǒng)可同時產(chǎn)水及獨(dú)立產(chǎn)水一用一備,分為兩套獨(dú)立設(shè)備,耗材更換時不需停水,可24小時運(yùn)行。

案例三:某企業(yè)定制超純水設(shè)備,應(yīng)用于光電行業(yè)

 

圖七 博泰達(dá)純水設(shè)備

(1)工藝類型和水質(zhì)要求

采用BTD預(yù)處理+雙級RO+EDI+拋光混床工藝,產(chǎn)水水質(zhì)符合電子級水標(biāo)準(zhǔn)。

(2)技術(shù)指標(biāo)

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圖八 技術(shù)指標(biāo)

 

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